歡迎光臨
手機網站|聯系我們:013116624888
寧波市鄞州瑾瑞儀器設備有限公司主營:拉力試驗機,光譜儀,電腦控制拉力試驗機,電子拉力試驗機,拉力強度試驗機,電子式拉力試驗機

寧波市鄞州瑾瑞儀器設備有限公司

電  話: 013116624888
傳  真: 021-68367992
手  機: 18958270202
網  址: www.753418.tw
聯系人: 金經理
郵  箱: [email protected]
地  址: 上海市閔行區虹梅南路4999弄23號
光譜隨偏儀

光譜隨偏儀

 品牌:璟瑞  加工定制:是  型號:JG-TP  
產品特性:光譜型橢偏儀,橢偏儀價格,光譜橢偏儀 價格,橢偏儀
產品簡介:品牌:璟瑞 ;加工定制:是 ;型號:JG-TP
寧波市鄞州瑾瑞儀器設備有限公司
詳細介紹:

一、光譜橢偏儀適用于材料范圍:

半導體、電介質、聚合物、有機物、金屬、多層膜物質等

二、光譜橢偏儀技術參數:

膜厚范圍

1nm~5um

厚度分辨度

0.1 nm

膜厚準確度

1mm

光學參數

可得出:n(折射率)、k(吸收率)值

折射率精度

0.005

測量時間

3~15秒(典型10秒)

入射角度

70°(其它可選)

波長范圍

450 - 900 nm ( 380 - 780 nm 可選)

波長分辨率

4 nm

光斑大小

2×4 mm(200×400um可選)

樣品定位允許誤差

高度允許±1.5 mm,角度允許±1°。不需進行樣品放置高度和角度調整

顯微鏡

可與顯微鏡匹配使用,用于同時觀察膜層和材料的微觀結構

掃描測量

可以掃描測量,掃描范圍6英寸或12英寸

真空應用

可以在真空和非真空環境中使用

三、光譜橢偏儀涉及領域行業:

半導體、通訊、數據存儲、光學鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫藥…


四、光譜橢偏儀檢測范圍:

1、早些年,橢偏儀的工作波長為單波長或少數獨立的波長,***典型的是采用激光或對電弧等強光譜光進行濾光產生的單色光源,F在大多數的橢偏儀在很寬的波長范圍內以多波長工作(通常有幾百個波長,接近連續)。和單波長的橢偏儀相比,多波長光譜橢偏儀有下面的優點:可以提升多層探測能力,可以測試物質對不同波長光波的折射率等。

2、光譜橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33µm可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關心的光譜段等因素。例如,摻雜濃度對材料紅外光學屬性有很大的影響,因此需要能測量紅外波段的橢偏儀;薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜,到達基底,然后并被探測器檢測到,因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段;對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。

五、光譜橢偏儀工作原理:

1、給出了橢偏儀的基本光學物理結構。已知入射光的偏振態,偏振光在樣品表面被反射,測量得到反射光偏振態(幅度和相位),計算或擬合出材料的屬性。

2、入射光束(線偏振光)的電場可以在兩個垂直平面上分解為矢量元。P平面包含入射光和出射光,s平面則是與這個平面垂直。類似的,反射光或透射光是典型的橢圓偏振光,因此儀器被稱為橢偏儀。關于偏振光的詳細描述可以參考其他文獻。在物理學上,偏振態的變化可以用復數ρ來表示:

 3、其中,ψ和∆分別描述振幅和相位。P平面和s平面上的Fresnel反射系數分別用復函數rp和rs來表示。rp和rs的數學表達式可以用Maxwell方程在不同材料邊界上的電磁輻射推到得到。

4、其中ϕ0是入射角,ϕ1是折射角。入射角為入射光束和待研究表面法線的夾角。通常橢偏儀的入射角范圍是45°到90°。這樣在探測材料屬性時可以提供***佳的靈敏度。每層介質的折射率可以用下面的復函數表示

5、通常n稱為折射率,k稱為消光系數。這兩個系數用來描述入射光如何與材料相互作用。它們被稱為光學常數。實際上,盡管這個值是隨著波長、溫度等參數變化而變化的。當代測樣品周圍介質是空氣或真空的時候,N0的值通常取1.000。

6、通常橢偏儀作為波長和入射角函數的ρ的值(經常以ψ和∆或相關的量表示)。一次測量完成以后,所得的數據用來分析得到光學常數,膜層厚度,以及其他感興趣的參數值。如下圖所示,分析的過程包含很多步驟。

7、可以用一個模型(model)來描述測量的樣品,這個模型包含了每個材料的多個平面,包括基底。在測量的光譜范圍內,用厚度和光學常數(n和k)來描述每一個層,對未知的參數先做一個初始假定。***簡單的模型是一個均勻的大塊固體,表面沒有粗糙和氧化。這種情況下,折射率的復函數直接表示。但實際應用中大多數材料都是粗糙或有氧化的表面,因此上述函數式常常不能應用。

8、下一步,利用模型來生成Gen.Data,由模型確定的參數生成Psi和Detla數據,并與測量得到的數據進行比較,不斷修正模型中的參數使得生成的數據與測量得到的數據盡量一致。即使在一個大的基底上只有一層薄膜,理論上對這個模型的代數方程描述也是非常復雜的。因此通常不能對光學常數、厚度等給出類似上面方程一樣的數學描述,這樣的問題,通常被稱作是反演問題。

9、***通常的解決橢偏儀反演問題的方法就是在衰減分析中,應用Levenberg-Marquardt算法。利用比較方程,將實驗所得到的數據和模型生成的數據比較。通常,定義均方誤差為:

10、在有些情況下,***小的MSE可能產生非物理或非唯一的結果。但是加入符合物理定律的限制或判斷后,還是可以得到很好的結果。衰減分析已經在橢偏儀分析中收到成功的應用,結果是可信的、符合物理定律的、精確可靠。

六、光譜隨偏儀器結構構造:

1、在光譜橢偏儀的測量中使用不同的硬件配置,但每種配置都必須能產生已知偏振態的光束。測量由被測樣品反射后光的偏振態。這要求儀器能夠量化偏振態的變化量ρ。

2、有些儀器測量ρ是通過旋轉確定初始偏振光狀態的偏振片(稱為起偏器)。再利用第二個固定位置的偏振片(稱為檢偏器)來測得輸出光束的偏振態。另外一些儀器是固定起偏器和檢偏器,而在中間部分調制偏振光的狀態,如利用聲光晶體等,***終得到輸出光束的偏振態。這些不同的配置的***終結果都是測量作為波長和入射角復函數ρ。

3、在選則合適的橢偏儀的時候,光譜范圍和測量速度也是一個通常需要考慮的重要因素?蛇x的光譜范圍從深紫外的142nm到紅外的33µm。光譜范圍的選擇通常由應用決定。不同的光譜范圍能夠提供關于材料的不同信息,合適的儀器必須和所要測量的光譜范圍匹配。

4、測量速度通常由所選擇的分光儀器(用來分開波長)來決定。單色儀用來選擇單一的、窄帶的波長,通過移動單色儀內的光學設備(一般由計算機控制),單色儀可以選擇感興趣的波長。這種方式波長比較準確,但速度比較慢,因為每次只能測試一個波長。如果單色儀放置在樣品前,有一個優點是明顯減少了到達樣品的入射光的量(避免了感光材料的改變)。另外一種測量的方式是同時測量整個光譜范圍,將復合光束的波長展開,利用探測器陣列來檢測各個不同的波長信號。在需要快速測量的時候,通常是用這種方式。傅立葉變換分光計也能同時測量整個光譜,但通常只需一個探測器,而不用陣列,這種方法在紅外光譜范圍應用***為廣泛。

公司鄭重承諾:
1.購機前,我們專門派技術人員為您設計***佳的流程和方案
2.購機后,將免費指派技術人員為您調試安裝
3.整機保修一年,產品終身維護
4.常年供應設備的易損件及耗品確保儀器能長期使用。

 

 

 相關產品:光譜儀|光譜元素分析儀|直讀光譜儀|

版權所有© 寧波市鄞州瑾瑞儀器設備有限公司
聯系人:金經理   聯系電話:013116624888   手機:18958270202   傳真:021-68367992   聯系地址:上海市閔行區虹梅南路4999弄23號
浙ICP備14028217號   技術支持:谷瀑環保   管理入口

浙公網安備 33020402000309號

时时乐开奖走势